Rheolydd Pŵer Cyfres TPM5
-
Rheolydd Pŵer Cyfres TPM5
Mae rheolydd pŵer cyfres TPM5 yn mabwysiadu'r syniad dylunio modiwl ac yn integreiddio hyd at 6 cylched y tu mewn.Defnyddir cynhyrchion yn bennaf mewn ffwrneisi tryledu, PECVD, ffwrneisi epitaxy, ac ati.